水平管内液膜厚度计算及其在双参数测量中的应用

本文采用液滴交换模型计算了水平圆管内环状流液膜厚度沿管周的分布及液膜流量。根据计算结果,提出了一种新的双参数测量方案,这种方案对流动的阻力很小,具有较好的发展前景。     

运算电容式传感器用于铝氧化膜厚度测试的研究

本文通过对运算电容式传感器及铝氧化膜厚度测试的实验研究,分析了影响测试精度的主要因素,并给出了校正方法和实用测量模型。     

聚合物薄膜KAPTON介电譜研究

本文在宽广的温度(-200～+250℃)、频率(100Hz～100kHz)及湿度(O～100％RH)范围内,采用一个计算机数字温度控制全自动平衡电桥测试系统,对聚合物薄膜KAPTON进行了介电谱研究。本研究特别从干燥与吸湿薄膜低温松弛特性——复介电系数ε′、ε″测量结果,利用SEM分析与讨论了吸湿低温介电松弛效应可能的机理,并用扩展Debye松弛理论给予理论解释。计算了松弛活化能。     

用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度

本文提出了应用双入射角的反射型椭偏术,可克服椭偏仪一般只能测定膜层厚度小于1周期值的缺点。该技术已成功地应用于微机控制自动消光法椭偏仪上,能自动测定厚膜的膜厚和折射率。经大规模集成电路生产中使用,效果良好,且能提高测量精度和简化操作。     

氮离子注入金刚石薄膜场发射初始过程研究

研究了氮离子注入CVD金刚石薄膜的场电子发射行为 .实验表明 ,稳定发射的形成过程基本具有规律性的击穿、激活和稳定发射三阶段特征 ,并提出了一种修正的激活模型 ,解释了实验结果 ,讨论了发射机理 .     

氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究

研究了宽禁带Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体氮化铝（Ａ１Ｎ）薄膜的折射率及其热光特性，采用棱镜－－薄膜硝装置和自动温控光波导测试仪，测出不同温度不氮化铝薄膜的波导特性，利用迭代法可得到Ａ１Ｎ的折射率与温度变化的关系，并首次没得了Ａ１Ｎ薄膜的热光特性。     

纳米多孔SiO2-TiO2复合薄膜的制备及研究

采用溶胶凝胶技术,以表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵CTAB为模板剂,乙酰丙酮作为钛的水解控制剂,通过钛和硅醇盐的分步水解得到均匀的SiO2TiO2复合溶胶,通过提拉制备出具有纳米多孔结构的复合薄膜.实验结果表明,多孔薄膜中的钛离子形成了Si—O—Ti键的孤立四配位形态,使薄膜具有复合型钛离子的催化效果,并且有介孔结构.随TiO2含量的增加,薄膜仍具有较好的透光性(可达到85%以上).通过对实验条件的调节,可实现对薄膜纳米结构的人工控制,形成的多孔薄膜折射率在1.2~1.4之间连续可调.