纳米级位移测量技术综述

综述了当今国内外纳米级位移测量技术的研究状况和最新成果 ,重点介绍其工作原理和性能。探讨了纳米级位移测量的关键技术 ,并展望纳米级位移测量技术的发展方向及在超精、微细加工领域的应用前景     

纳米级微动试验台隔振理论研究

隔振技术是纳米技术中的关键问题之一。通过二维隔振系统的力学分析 ,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。该系统具有良好的隔振效果 ,对超精密机床、超精定位机构等的超低传递率隔振设计有一定的参考价值