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提出了一个很有价值的实验装置与方法,可以仅用一个平面磁控溅射靶来方便地合成各种金属多层膜。小角X光衍射(XRD)分析证实了采用此实验装置与方法制备的Fe/Al多层膜的良好周期性层状结构。 相似文献
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