平面线圈型直线时栅参数优化方法

提出一种采用非线性规划遗传算法对平面线圈型直线时栅位移传感器结构参数进行优化的方法,以解决传感器感应电动势谐波成分较多、用枚举法优化传感器参数费时且效果有限等问题。通过建立基于非线性规划遗传算法的数学模型对传感器参数进行优化,根据优化结果建立传感器的物理模型进行仿真,设计传感器进行实验,与枚举法的优化结果进行比较。结果表明:优化效率提高了65%,感应信号谐波畸变率降低了10倍,在240 mm的量程内传感器测量精度从±1μm提高到了±0.8μm。说明利用该方法对传感器结构参数进行优化是可行的,根据优化结果设计的传感器从结构上抑制了原始误差,实现了高精度测量。