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| 新型传感器的发展前景 | |
| 作者姓名： | 高慧芳 |
| 作者单位： | 辽宁冶金技师学院; |
| 摘 要： | 近年来传感技术迅速发展,传感器新原理、新材料和新技术的研究更加深入、广泛,传感器新品种、新结构、新应用不断涌现、层出不穷,现在新型传感器研发的重点领域主要有以下几个方面。一、基于MEMS技术的新型传感器微传感器(尺寸从几微米到几毫米的传感器)特别是以MEMS(微电子机械系统)技术为基础的传感器已逐步实用化,这是今后发展的重点之一。微机械设 |
| 关 键 词： | 微传感器 压力传感器 智能化传感器 重点领域 新结构 新型传感器 微电子机械系统 新品种 新应用 新技术 |
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