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喷涂热分解法制备掺锑SnO_2电热膜的工艺及电学性能的研究
引用本文:张瑞英,张秀梅,杨殿魁,李志芳.喷涂热分解法制备掺锑SnO_2电热膜的工艺及电学性能的研究[J].内蒙古工业大学学报,2004(3).
作者姓名:张瑞英  张秀梅  杨殿魁  李志芳
作者单位:内蒙古工业大学材料学院,内蒙古工业大学材料学院,内蒙古工业大学材料学院,内蒙古工业大学材料学院 呼和浩特010062,呼和浩特010062,呼和浩特010062,呼和浩特010062
基金项目:内蒙古工业大学校基金项目
摘    要:本文研究了热喷涂分解法制备Sb:SnO2电热膜的工艺及基体对电热膜电学性能的影响,并讨论了该膜的电阻温度系数的变化.实验表明:喷涂工艺对掺Sb的SnO2电热膜的电学性能有很大影响.

关 键 词:电热膜  简并半导体  电阻温度系数
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