|
|||||
|
|
| 微机械电子学—机械电子学的新发展 | |
| 引用本文： | 廉仲,王庭树.微机械电子学—机械电子学的新发展[J].电子科技大学学报(社会科学版),1991(3). |
| 作者姓名： | 廉仲 王庭树 |
| 作者单位： | 电子科技大学电子机械系 四川成都(廉仲)，电子科技大学电子机械系 四川成都(王庭树) |
| 摘 要： | 综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景. |
| 关 键 词： | 机械学 电子学 机械电子学 微机械电子学 微细加工技术 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |