光刻设备安装过程的的质量控制研究

质量是一切企业求发展的根本,许多企业都进行ISO9000贯标;建立企业的质量体系,它包括质量管理的所有要素。在半导体行业中,每一秒的盈利都相当可观,如何控制半导体行业的工程质量,成为了企业发展过程中的难题。本文旨在应用质量管理的理论和方法,依据光刻设备的安装过程来探索适合半导体行业的质量控制体系。文章首先介绍了全面质量管理的优势以及企业建立全面质量管理体系所应做的基础工作,接下来提出质量管理的控制模型,最后以设备安装过程中的实例来验证所提出理论和方法的有效性。