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基于QPD的单透镜微角度测量系统及其关键技术研究
作者姓名:金伟锋  廉孟冬  居冰峰
作者单位:浙江大学 流体传动及控制国家重点实验室
摘    要:介绍了一种基于QPD的单透镜微角度测量系统。通过对其关键技术如采取的光学原理、光学器件光电探测器的选择和离焦设置,小尺寸的可行性分析计算等,最后得出设计出一种结构紧凑,体积小,携带方便,灵敏度高,可测量微小角度的测量系统的可行性。[HTK]同时通过实验得出测量系统大致的测量范围和测量精度。

关 键 词:精密加工  微角度测量  4象限光电二极管(QPD)  单透镜
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