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| 电子声学显微镜中的斩束研究 | |
| 引用本文： | 倪治钧,傅慧生,张宇亮. 电子声学显微镜中的斩束研究[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 1992, 0(3) |
| 作者姓名： | 倪治钧 傅慧生 张宇亮 |
| 作者单位： | 电子科技大学高能电子所 成都610054(倪治钧，傅慧生)，电子科技大学高能电子所 成都610054(张宇亮) |
| 摘 要： | 根据扫描电子声学显微镜的要求,利用物镜光阑在第一透镜的上方形成的虚像作为斩束孔,分析了由三个透镜组成的电镜中电子束的斩束系统,给出了斩束光路设计和测试结果。 |
| 关 键 词： | 电声显微镜 斩束技术 光路设计 频率合成 |
ON CHOPPING ELECTRON BEAM IN THE SEAM |
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| Ni Zhijun Fu Huisheng Zhang Yuliang. ON CHOPPING ELECTRON BEAM IN THE SEAM[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 1992, 0(3) | |
| Authors: | Ni Zhijun Fu Huisheng Zhang Yuliang |
| Abstract: | According to requirements of the scanning electron-acoustic microscopy (SEAM), using a virtual image for med final lens aperture above the first lens for a beam-chopping aperture, the beam-chopping electrode stractures are analysed in the SEAM, which is consist of three lenses. The beam-chopping optisal design and cxperimental results are given. |
| Keywords: | electron-acoustic microscopy beam-chopping technique optical design frequency synthesis |
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