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| ZnO/AlN复合压电薄膜的研制 | |
| 引用本文： | 曲喜新,杨革,严康宁. ZnO/AlN复合压电薄膜的研制[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 1993, 0(3) |
| 作者姓名： | 曲喜新 杨革 严康宁 |
| 作者单位： | 电子科技大学信息材料学院，电子科技大学信息材料学院，电子科技大学信息材料学院 成都 610054，成都 610054，成都 610054 |
| 摘 要： | 各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。 |
| 关 键 词： | 压电薄膜 复合压电薄膜 溅射 平面磁控溅射 组织结构 |
THE DEVELOPMENT OF ZnO/AIN COMPOSITE PIEZOELECTRIC THIN FILMS |
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| Qu Xixin Yang Ge Yan Kangning. THE DEVELOPMENT OF ZnO/AIN COMPOSITE PIEZOELECTRIC THIN FILMS[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 1993, 0(3) | |
| Authors: | Qu Xixin Yang Ge Yan Kangning |
| Abstract: | |
| Keywords: | piezoelectric thin films composite piezoelectric thin films sputtering planar magnetron sputtering organization structure |
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