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扩散平面结反偏压下的电场分布与击穿电压
引用本文:陈星弼,曾军.扩散平面结反偏压下的电场分布与击穿电压[J].电子科技大学学报(社会科学版),1992(5).
作者姓名:陈星弼  曾军
作者单位:电子科技大学微电子所 成都610054(陈星弼),电子科技大学微电子所 成都610054(曾军)
摘    要:采用以结深r_j及qN_Br_j~2/ε:为归一化因子的长度和电压(N_?为衬底杂质浓度,q、ε_?的意义如常),通过简单的计算公式及程序,算出了包括各种实用扩散结的平面、边、角的耗尽层厚度,结面上电场和最大电场与结电压的关系,击穿电压与结深的关系。为便于实用,给出了与扩散工艺条件有关的量作参考的曲线族。对边、角部分的击穿电压有时可高于平面部分的击穿电压的情况,进行了物理解释。

关 键 词:扩散平面结  电场  结电压  耗尽层  击穿电压

FIELD PROFILE AND BREAKDOWN VOLTAGE OF THE DIFFUSED PLANAR JUNCTIONS UNDER REVERSE BIASING
Cheng Xingbi Zeng Jun.FIELD PROFILE AND BREAKDOWN VOLTAGE OF THE DIFFUSED PLANAR JUNCTIONS UNDER REVERSE BIASING[J].Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition),1992(5).
Authors:Cheng Xingbi Zeng Jun
Abstract:
Keywords:diffused planar junctions  electrical field  junction voltage  depletion layer  breakdown voltage
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