细线条图形的常規制作技术

本文针对用常规制版工艺制作细线条为1μm光刻版的主要难点,通过定性的理论分析,确定出实验方案。经过反复实验,在現有设备条件下,为3DG460微波低噪声晶体管的研制提供了合格光刻版。