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类金刚石碳（diamond-like carbon）膜简称DLC膜,是一类物理和化学性质类似于金刚石且具有独特摩擦学特性的非晶碳膜。类金刚石碳膜易于大面积沉积,沉积速度快,沉积温度低,可采用金属和非金属材料作为衬底, 相似文献
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