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相似文献
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1.
用卢瑟福背散射/沟道技术研究了1MeVSi ̄+在350℃高温和室温下以不同剂量注入GaAs后的晶格损伤。在衬底加温注入下,观察到CaAs中存在一个动态退火速率与缺陷产生速率相互平衡的剂量范围以及两种速率失去平衡时的临界剂量。用级联碰撞理论分析了所观察到的实验结果。  相似文献   

2.
用350keVYb~+在室温下注入了单晶硅,并用卢瑟福背散射/沟道技术测量了注入离子在硅中的射程分布谱和晶格损伤谱。用表面能量近似和平均能量近似从背散射谱上计算了射程深度和射程分布的标准偏差。实验和计算结果表明,大部分注入离子都处于非替位位置。表面能量近似方法已能给出相当理想的计算精度,它与更精确的平均能量近似所得出的结果相差甚微。晶体与非晶体界面附近的损伤并由Yb~+直接产生,它是一种次级级联碰撞效应。  相似文献   

3.
用半经验的CNDO/2量子化学计算方法,对一组模拟超晶格AlxGa1-xAs/GaAs的原子簇体系作了第一性原理的电子结构研究。结果表明,化学键Al—As和Ga—As的强度,在AlxGa1-xAs环境中的结果均高于它们在纯晶体AlAs和GaAs环境中的数值;随着AlxGa1-xAs中X值的增大,Ga-As键强度相应地提高,但平均键强度计算结果,Ga-As总低于同环境中的Al-As。本文结果同AlxGa1-xAs/GaAs红外光谱键强度分析等实验事实相吻合,而且为离子注入AlxGa1-xAs/GaAs中引起的晶格损伤分布行为提供了合理的解释。  相似文献   

4.
本文以固体超强酸/γ-Al_2O_3为催化剂,对直接酯化合成乙酸苄酯进行了研究。考察了催化剂用量、酸醇比、反应时间、带水剂用量及催化剂重复使用次数对酯化率的影响。结果表明:本文所述催化剂与硫酸相比,不仅制备方法简便、活性高、易分离、无污染,而且可多次重复使用。  相似文献   

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