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提出了用PIN结构代替通用的PN结结构组成自扫描光电二极管列阵(SSPA)的构想,并从理论上推导了再充电采样的SSPA性能参数的一般表达式。由此推断出PIN结构SSPA具有高响应度高分辨率的特点。实验上制备出了不同光敏面积的PIN结构SSPA,并和相同面积的PN结结构SSPA比较。结果表明前者优于后者,与理论预期相一致。 相似文献