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采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀的方法,在工具钢表面制备了TiAlN薄膜。运用EDS、XRD和SEM对薄膜的成分、组织结构和表面形貌进行了测试,此外,也测定了薄膜的表面显微硬度、摩擦系数。结果表明,不同硬度基体上的TiAlN薄膜成分相同,膜层致密;硬、软基体上薄膜的显微硬度最高可达到2 575 HV0.025和2 295 HV0.025,摩擦系数分别在0.45和0.50左右。 相似文献
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