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低阻ITO玻璃的制造工艺   总被引:2,自引:0,他引:2  
有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求。该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火。得到方阻20?以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃。  相似文献   
2.
介绍了一种CRT显示管分辨率自动测量系统,可以对CRT显示管的线宽进行快速准确的测量。该系统采用面阵CCD摄像机做为传感器,具有自动光学聚焦和投影管聚焦电压自动调整功能,有效地提高了系统的测量精度和测量速度。  相似文献   
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