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通过一组标准电容的代换测量 ,建立了测量电压与电容量的函数关系 ,并采用插值算法和回归分析得到结电容与偏压的特性曲线 ,该方法有效地克服了杂散电容及电路噪声对测量精度的影响 ,测试误差主要取决于标准电容的精度  相似文献   
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