低熔点焊料对SEM管硅靶污染的研究

本文在大量实验的基础上。证实了从低熔点焊料中挥发出的PbO、ZnO在碱金属(K、Na、Cs)气氛的作用下,还原出Pb和Zn,这些Pb和Zn对电子轰击硅靶靶面造成了严重的污染。以此为根据,建立了导致污染的数学物理模型,用此模型能很好地解释所有的污染现象,揭示了这一污杂的本质。最后,给出了解决低熔点焊料对SEM管硅靶污染的方法。