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1.
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。  相似文献   
2.
论述了多晶硅高温压力传感器小型化固态隔离封装技术、静电键合技术、不锈钢膜片的选择及波纹设计技术、激光焊接技术、硅油充灌和硅油隔离技术等。以不锈钢膜片和高温硅油为隔离材料,使传感器的封装直径缩小到15 mm,在1 mA电流激励下传感器满量程输出为72 mV,零点稳定性为0.48%F.S/mon,提高了传感器的可靠性,拓宽了传感器的应用领域。  相似文献   
3.
小小一片茶叶含有 5 0 0多种化学成份 ,具有提神益思功效 ,其作为天然健康饮料在世界各地均大受欢迎。 2 0 0 1年我国茶园面积 16 70万亩 ,产量为 70万吨 ,社会销售额达 74亿元 ,传统名茶价格继续保持旺盛需求 ,价格上升。可以说 ,茶叶市场前景好 ,经济效益高。永春县是中国乌龙茶生产基地县 ,茶叶种植面积 6 .13万亩 ,年产 4 0 0 0吨 ,永春茶叶自 1985年开始至今连续4 3次在国家、省级评比中得金奖或第一名 ,被评为中国国际农业博览会名牌产品。茶叶是农村经济的支柱产业 ,但是由于茶农不注重茶园生态环境 ,施用农药时缺乏科学性 ,凭主观经…  相似文献   
4.
讨论了几种VLSI版图中电容的计算方法;计算集成电路电容的方法有公式法和数值法两大类。利用数值法计算电容的方法包含有限差分法、有限元法、边界元法和格林法等,分析了以上各种方法的计算原理和优缺点。  相似文献   
5.
在对热印头进行高温存储实验、震动实验、脉冲加热实验和实际打印实验的基础上,总结出热印头失效的五种模式,并分析了各种模式的失效原因;论述了提高热印头寿命的措施。  相似文献   
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