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各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。 相似文献
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根据薄膜理论和通过成膜工艺实验,研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。1)对铂靶材料的纯度要求高,含杂质极少;2)淀积薄膜要有一定厚度,通常近于1μm才能有较大的α;3)成膜以后,需经过高温热处理,减少缺陷,结晶化改善。通过大量实验,使用高铝陶瓷基片或微晶玻璃基片,溅射铂薄膜的厚度为800nm,高温热处理1h,可以获得电阻温度系数为3.850×10-3/℃的铂电阻薄膜。 相似文献
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摘要:用直流磁控溅射制备TiO2薄膜,分析了氧氩比和溅射功率两项制备参数对退火后形成的锐钛矿二氧化钛薄膜亲水性的影响。实验结果表明,适中的氧氩比2:3和功率126W下制备的薄膜具有很好的亲水性。 相似文献
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《福建农林大学学报(哲学社会科学版)》2011,(4)
近日,成都中科唯实仪器有限责任公司技术研发部门通过自主设计,完成光学膜厚智能测控仪研发任务。传统的光学镀膜采用极值法膜厚监控方式,正确判定极值点是镀膜操作人员的重要操作技术,它决定着每一炉镀膜的 相似文献
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提出了一个很有价值的实验装置与方法,可以仅用一个平面磁控溅射靶来方便地合成各种金属多层膜。小角X光衍射(XRD)分析证实了采用此实验装置与方法制备的Fe/Al多层膜的良好周期性层状结构。 相似文献
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本文详细分析了增透膜技术的原理以及薄膜工艺的发展,重点分析了反射光干涉在增透膜中主要的推导过程,薄膜技术在光影器械中的分类及光影器械的保养。 相似文献
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正随着我国社会的老龄化,老年人的生活也成为每个家庭的重点,尤其是老年人的居住环境,已经从有房住发展到住得舒适、住得健康了。以往人们在购房时,主要考虑房子的价格、结构、质量、地理位置、物业管理条件,而现在对房子周围环境(如阳光、空气和水)的质量也越来越重视。在众多的环境因素中,光照条件对老年购房者来说可谓一大"硬件",在买房时一定要重点考虑。老年人应该根据对光线的不同要求,选择房子的 相似文献
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为了教师和学生们能够更加顺利地完成真空镀膜实验并且维护好实验设备,本文主要通过真空镀膜原理及构造的角度,论述了真空镀膜机的具体维护。 相似文献
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