扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用 |
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作者姓名: | 杨显 胡建军 郭宁 何川 张雨晴 王静 |
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作者单位: | 重庆理工大学材料科学与工程学院;模具技术重庆市高校市级重点实验室;西南大学材料与能源学部 |
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摘 要: | 介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的3种信号探测器,分析了扫描电子显微镜成像技术中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号与金属材料表面形貌、原子序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火态球墨铸铁组织表征以及热扩渗40Cr钢渗层组织研究为例,详细阐述了普通SE、高分辨二次电子(In-Lens)及BSE三种成像模式在金属材料研究中的应用特点及选用。
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