| 用一个平面磁控溅射靶合成金属多层膜 |
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| 引用本文： | 王剑峰,王豪才,范毓殿. 用一个平面磁控溅射靶合成金属多层膜[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 1993, 0(3) |
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| 作者姓名： | 王剑峰 王豪才 范毓殿 |
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| 作者单位： | 电子科技大学CAE研究中心，电子科技大学CAE研究中心，清华大学材料科学与工程系 成都 610054，成都 610054，北京 100084 |
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| 摘 要： | 提出了一个很有价值的实验装置与方法,可以仅用一个平面磁控溅射靶来方便地合成各种金属多层膜。小角X光衍射(XRD)分析证实了采用此实验装置与方法制备的Fe/Al多层膜的良好周期性层状结构。
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| 关 键 词： | 磁控溅射靶 金属膜 多层膜 层状结构 周期性层状结构 调制周期 |
SYNTHESIZING METALLIC MULTILAYERS BY A SINGLE PLANAR MAGNETRON SPUTTERING TARGET |
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| Wang Jianfeng Wang Haocai. SYNTHESIZING METALLIC MULTILAYERS BY A SINGLE PLANAR MAGNETRON SPUTTERING TARGET[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 1993, 0(3) |
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| Authors: | Wang Jianfeng Wang Haocai |
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| Abstract: | A very valuable apparatus and method are provided to synthesize various metallic multiayers easily only using a single planar magnetron target. The small-angle X-ray diffraction analysis indicates that the Fe/Al multilayers prepared by the apparatus and methods have the good periodic layered structure. |
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| Keywords: | magnetron sputtering target metal thin films multilayers layer structure periodic layer structure modulation period |
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