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| 氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究 | |
| 引用本文： | 韩莹,庄松林.氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究[J].上海理工大学学报(社会科学版),1999(1):21-24. |
| 作者姓名： | 韩莹 庄松林 |
| 摘 要： | 研究了宽禁带Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体氮化铝（Ａ１Ｎ）薄膜的折射率及其热光特性，采用棱镜－－薄膜硝装置和自动温控光波导测试仪，测出不同温度不氮化铝薄膜的波导特性，利用迭代法可得到Ａ１Ｎ的折射率与温度变化的关系，并首次没得了Ａ１Ｎ薄膜的热光特性。 |
| 关 键 词： | 折射率 光学特性 薄膜 氮化铝 半导体 |
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