| 液体辅助氮化铝陶瓷飞秒激光直冲式盲孔加工 |
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| 引用本文： | 王宁,马盼,王旭,刘浩东,赵万芹.液体辅助氮化铝陶瓷飞秒激光直冲式盲孔加工[J].华南农业大学学报(社会科学版),2023,41(6):82-86. |
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| 作者姓名： | 王宁 马盼 王旭 刘浩东 赵万芹 |
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| 作者单位： | 1.上海工程技术大学 材料科学与工程学院， 上海201620； 2.沈阳飞机工业(集团）有限公司， 辽宁 沈阳110086；3.西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室， 陕西 西安710064） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（52105465）。 |
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| 摘 要： | 为探究采用液体辅助加工技术提高飞秒激光直冲式盲孔加工质量的可行性，课题组设计了一种液体辅助激光加工装置。选择纯水、质量分数为75%的乙醇溶液以及盐酸乙醇混合溶液作为辅助液体用于激光加工，在激光加工参数重复频率为0.3 MHz、单脉冲能量为20 μJ、脉冲数为250~20 000时，探究了不同液体辅助加工条件下盲孔尺寸和盲孔的孔口、侧壁形貌变化规律，并分析了相关形貌和缺陷的产生原因和机理。结果表明：在盐酸乙醇混合溶液中进行直冲式盲孔加工，加工出的盲孔孔形相对规整，孔口和侧壁的形貌质量较高。液体辅助激光加工是提高氮化铝陶瓷飞秒激光直冲式盲孔加工质量的一种有效方法。
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| 关 键 词： | 激光加工 氮化铝陶瓷 盲孔 液体辅助 |
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