| 重复频率对飞秒激光直冲式加工氮化铝陶瓷盲孔的影响 |
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| 引用本文： | 王旭,马盼,王宁,刘浩东,赵万芹.重复频率对飞秒激光直冲式加工氮化铝陶瓷盲孔的影响[J].华南农业大学学报(社会科学版),2023,41(4):21-27. |
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| 作者姓名： | 王旭 马盼 王宁 刘浩东 赵万芹 |
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| 作者单位： | 1.上海工程技术大学 材料科学与工程学院， 上海201620；
2.沈阳飞机工业（集团）有限公司， 辽宁 沈阳110086；
3.西安交通大学 机械制造系统国家重点实验室， 陕西 西安710064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（52105465）。 |
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| 摘 要： | 为探究飞秒激光加工参数中激光重复频率对盲孔尺寸和形貌的影响规律，课题组使用飞秒激光直冲方式对氮化铝陶瓷表面进行盲孔加工，通过实验探索激光重复频率对盲孔入口直径、孔深、孔口形貌以及孔侧壁形貌的影响规律。研究结果表明：随着激光重复频率的增大，盲孔的入口直径和孔深均呈现出增大至饱和的趋势且在重复频率为0.3 MHz左右达到饱和；盲孔的孔口形貌和侧壁形貌均随着重复频率的增大而变差，孔口周围的熔溅物堆积现象愈发严重，侧壁重铸层附着愈发严重。重复频率过高或者过低都会使得直冲式加工的盲孔达不到理想的尺寸和形貌。
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| 关 键 词： | 飞秒激光 氮化铝陶瓷 盲孔 直冲式加工 |
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