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| 磁控溅射TiAlN薄膜的制备及性能研究 | |
| 引用本文： | 张靖华,金 杰,倪茂林,吴 锋.磁控溅射TiAlN薄膜的制备及性能研究[J].华南农业大学学报(社会科学版),2013,31(1). |
| 作者姓名： | 张靖华 金 杰 倪茂林 吴 锋 |
| 作者单位： | 1.杭州汽轮机股份有限公司， 浙江 杭州 310022； 2.浙江工业大学 机械工程学院， 浙江 杭州 310014 |
| 摘 要： | 采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀的方法，在工具钢表面制备了TiAlN薄膜。运用EDS、XRD和SEM对薄膜的成分、组织结构和表面形貌进行了测试，此外，也测定了薄膜的表面显微硬度、摩擦系数。结果表明，不同硬度基体上的TiAlN薄膜成分相同，膜层致密；硬、软基体上薄膜的显微硬度最高可达到2 575 HV0.025和2 295 HV0.025,摩擦系数分别在0.45和0.50左右。 |
| 关 键 词： | TiAlN薄膜 组织结构 显微硬度 摩擦系数 |
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