| Ne~+、Ar~+注入铜靶所产生的溅射原子角分布与离子入射角的关系 |
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| 引用本文： | 李岱青,官宝安,万亚,刘家瑞,徐天冰.Ne~+、Ar~+注入铜靶所产生的溅射原子角分布与离子入射角的关系[J].鲁东大学学报,1992(4). |
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| 作者姓名： | 李岱青 官宝安 万亚 刘家瑞 徐天冰 |
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| 作者单位： | 烟台师范学院物理系 北京
(李岱青)，烟台师范学院化学系 北京
(官宝安，万亚)，中科院物理所 北京
(刘家瑞)，中科院物理所 北京(徐天冰) |
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| 摘 要： | 在100keV入射能量下.分别测量了Ne~-、Ar~+在铜靶上所产生的溅射原子角分布与离子入射角度的关系 实验结果表明在40°和70°斜入射条件下,Ar~+所产生的溅射原子角分布的溅射优先方向分别位于表面法线的两侧,溅射原子角分布关于表面法线明显不对称;而Ne~+所对应的溅射优先方向都位于表面法线方向,且溅射原子角分布关于表面法线是对称的、用TRIM程序计算了Ne~+和Ar~+在铜靶中的能损和投影射程,并依据所计算的结果用级联碰撞理论分析了实验结果,比较了Ne~+和Ar~+各自溅射机制上的不同.
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| 关 键 词： | 溅射 溅射原子角分布 离子入射角 级联碰撞 |
ANGULAR DISTRIBUTIONS OF SPUTTERED ATOMS OF COPPER TARGET BOMBARDED BY Ne~+ AND Ar~+ AT DIFFERENT INCIDENT ANGLES |
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| Li Daiqing Gong Baoan Wan Ya Liu Jiarui Xu Tianbing.ANGULAR DISTRIBUTIONS OF SPUTTERED ATOMS OF COPPER TARGET BOMBARDED BY Ne~+ AND Ar~+ AT DIFFERENT INCIDENT ANGLES[J].Ludong University Journal (Natural Science Edition),1992(4). |
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| Authors: | Li Daiqing Gong Baoan Wan Ya Liu Jiarui Xu Tianbing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sputtering the angular distributions of sputtened atoms ionic incident angles cascade collision |
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