| 衬底效应对LiTaO_3薄膜制备的影响 |
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| 引用本文： | 张德银,黄大贵,李金华,但迪迪,董政.衬底效应对LiTaO_3薄膜制备的影响[J].电子科技大学学报(社会科学版),2007(4). |
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| 作者姓名： | 张德银 黄大贵 李金华 但迪迪 董政 |
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| 作者单位： | 电子科技大学机械电子工程学院 成都610054中国民航飞行学院航空工程学院四川广汉618307(张德银)，电子科技大学机械电子工程学院 成都610054(黄大贵，董政)，江苏工业学院信息科学系 江苏常州213016(李金华，但迪迪) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60572007) |
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| 摘 要： | 用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明:N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在(012)晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸锂薄膜有更好的C轴择优取向性,C轴择优取向系数可达0.082。
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| 关 键 词： | LiTaO3 择优晶向 溶胶凝胶 衬底效应 薄膜 |
Substrate Effects on Preparation of LiTaO_3 Thin Films |
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| ZHANG De-yin,HUANG Da-gui,LI Jin-hua,DAN Di-di,DONG Zheng.Substrate Effects on Preparation of LiTaO_3 Thin Films[J].Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition),2007(4). |
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| Authors: | ZHANG De-yin HUANG Da-gui LI Jin-hua DAN Di-di DONG Zheng |
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| Institution: | ZHANG De-yin1,2,HUANG Da-gui1,LI Jin-hua3,DAN Di-di3,DONG Zheng1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LiTaO3 preferred orientation sol-gel substrate effects thin film |
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