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| 双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置 | |
| 引用本文： | 本刊编辑部.双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置[J].电子科技大学学报(社会科学版),2008(5). |
| 作者姓名： | 本刊编辑部 |
| 摘 要： | 双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置由转动驱动轴、基片导轨以及基片构成,还包括:圆筒形靶材、圆筒形热屏蔽层和由多根加热丝围成的圆筒形加热器。装置制备大面积双面薄膜,在保证了大面积双面薄 |
| 关 键 词： | 基片 装置 溅射镀膜 筒形加热器 倒筒 驱动轴 大面积 轴旋转 圆筒形 热屏蔽层 |
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