| 以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能 |
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| 引用本文： | 李恩求,廖家轩. 以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 2008, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 李恩求 廖家轩 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子科学技术研究院;电子科技大学电子科学技术研究院 成都610054电子科技大学微电子与固体电子学院成都; |
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| 基金项目： | 部级预研项目(914A1003.606DZ02) |
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| 摘 要： | 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜,采用SEM、XRD、AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为。为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP)。结果表明,经700℃退火1h,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞以及晶粒取向高度一致的薄膜。薄膜钙钛矿结构明显,并随温度的升高而趋于完善。在结晶初期形成规则的柱状晶粒在长大和吞并的过程中逐渐形成颗粒状晶粒。薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大。在平均晶粒较大且晶界分明的情况下,薄膜的均方根粗糙度仍能保持在7.854nm左右。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡薄膜 晶化行为 聚乙烯吡咯烷酮 溶胶-凝胶法 |
Preparation and Crystalline Properties of BST Thin Films Fabricated Using PVP as Additive Agent |
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| LI En-qiu, LIAO Jia-xuan. Preparation and Crystalline Properties of BST Thin Films Fabricated Using PVP as Additive Agent[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 2008, 0(Z1) |
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| Authors: | LI En-qiu LIAO Jia-xuan |
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| Affiliation: | LI En-qiu1,2 , LIAO Jia-xuan1 (1.Research Institute of Electronic Science , Technology,University of Electronic Science , Technology of China Chengdu 610054,2. School of Microelectronics , Solid-State Electronics,University of Electronic Science , Technology of China Chengdu 610054) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium strontium titanate (BST) film crystallization behavior polyvinyl pyrrolidone sol-gel method |
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