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| 面向21世纪的世界集成电路工业 | |
| 作者姓名： | 谢常青 |
| 作者单位： | 中国科学院微电子中心 |
| 摘 要： | <正>1958年世界上第一块采用全平面工艺研制的硅集成电路(IC)问世,由此揭开了人类社会进入“硅器”时代的序幕。30多年来IC技术的发展迅猛异常。已经完成了小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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