| 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜 |
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| 引用本文： | 周英,邓宏,李燕,程珍娟. 溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 2006, 0(5) |
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| 作者姓名： | 周英 邓宏 李燕 程珍娟 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目(60390073)，“973”项目(51210Z09) |
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| 摘 要： | 采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40～90nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34eV。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 c轴择优取向性 禁带宽度 |
Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method |
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| ZHOU Ying,DENG Hong,LI Yan,CHENG Zhen-juan. Preparation of the ZnO Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 2006, 0(5) |
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| Authors: | ZHOU Ying DENG Hong LI Yan CHENG Zhen-juan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel ZnO thin films c-axis orientation band gap |
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