| ZnO:Al透明导电薄膜的制备与性能研究 |
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| 引用本文： | 高善民,周升旺,张江,于忠玺. ZnO:Al透明导电薄膜的制备与性能研究[J]. 鲁东大学学报, 2006, 22(3): 197-200 |
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| 作者姓名： | 高善民 周升旺 张江 于忠玺 |
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| 作者单位： | 鲁东大学化学与材料科学学院 山东烟台264025 |
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| 基金项目： | 鲁东大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 运用溶胶-凝胶技术,在普通玻璃基片上制备Al3 掺杂的ZnO透明导电薄膜.采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行了表征,通过紫外-可见吸收光谱和标准四探针法对其光电性能进行了研究.结果表明,采用溶胶-凝胶法制得的ZAO薄膜为纤锌矿型结构,呈C轴方向择优生长;在适宜的条件下,薄膜的可见光透过率达到80%以上;电阻率为3.1×10-3Ω.cm;涂层厚度、预处理温度和热处理温度对薄膜结构和光电性能有较大影响.
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| 关 键 词： | 透明导电薄膜 ZnO∶Al 溶胶-凝胶 光电性能 |
| 文章编号： | 1673-8020(2006)03-0197-04 |
| 修稿时间： | 2005-06-30 |
Preparation and Properties of Aluminum-doped ZnO Transparent Conducting Thin Films |
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| GAO Shan-min,ZHOU Sheng-wang,ZHANG Jiang,YU Zhong-xi. Preparation and Properties of Aluminum-doped ZnO Transparent Conducting Thin Films[J]. Ludong University Journal (Natural Science Edition), 2006, 22(3): 197-200 |
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| Authors: | GAO Shan-min ZHOU Sheng-wang ZHANG Jiang YU Zhong-xi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO:Al |
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