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| HI3钢的脉冲离子束加工处理 | |
| 引用本文： | 杨建华.HI3钢的脉冲离子束加工处理[J].南通工学院学报(社会科学版),1994(2). |
| 作者姓名： | 杨建华 |
| 作者单位： | 南通纺织工学院基础部 |
| 摘 要： | 作者利用中国第一台金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)引出的钼离子对HI3钢进行了不同束流密度下的离子注入。根据此源的特点,提出了相应的注入元素深度分布的计算方法。注入层的分析和测量是借助背散射(RBS)、X衍射(XRD)进行的。磨损测量表明,随着束流密度的变化,注入层的磨损性能将会发生相应变化。最后指出了MEVVA源的应用前景。 |
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