| 磁控溅射制备Ti-O-N选择性太阳能吸收涂层 |
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| 引用本文： | 梁枫,谢伟,唐晓山,邹长伟,邵乐喜.磁控溅射制备Ti-O-N选择性太阳能吸收涂层[J].湛江师范学院学报,2014(6):68-73. |
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| 作者姓名： | 梁枫 谢伟 唐晓山 邹长伟 邵乐喜 |
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| 作者单位： | 岭南师范学院物理科学与技术学院 |
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| 基金项目： | 湛江市科技计划支持项目(201010101) |
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| 摘 要： | 太阳能集热器是太阳能热水器的核心部件,平板集热器可以作为建筑材料与建筑完美融合,满足城市对太阳能的利用与建筑一体化的要求.本论文用中频磁控溅射技术制备用于平板集热器的Ti-O-N选择性吸收涂层.用XRD、SEM及红外反射测试研究工艺参数对吸收涂层结晶质量、形貌及反射率的影响.设置镀膜过程中气压分别为0.8Pa、1.2Pa和2.0Pa而其他参数不变,制备出不同气压条件下的Ti-O-N选择性吸收涂层,通过分析样品的表面形貌及红外反射率来研究镀膜过程中气压对涂层质量的影响.实验表明,气压越低,所镀的薄膜颗粒越致密均匀,薄膜表面越光滑,薄膜的集热效率越高,即涂层的质量越好.
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| 关 键 词： | 中频磁控溅射 真空镀膜 集热器 Ti-O-N选择性吸收薄膜 |
Magnetron Sputtering of Ti-O-N Selective Solar Absorbing Coating |
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| LIANG Feng;XIE Wei;TANG Xiaoshan;ZOU Changwei;SHAO Lexi.Magnetron Sputtering of Ti-O-N Selective Solar Absorbing Coating[J].Journal of Zhanjiang Normal College,2014(6):68-73. |
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| Authors: | LIANG Feng;XIE Wei;TANG Xiaoshan;ZOU Changwei;SHAO Lexi |
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| Institution: | LIANG Feng;XIE Wei;TANG Xiaoshan;ZOU Changwei;SHAO Lexi;Physical Experiment Center,Lingnan Normal University; |
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