| 纳米级位移测量技术综述 |
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| 引用本文： | 杨晓红,杨圣. 纳米级位移测量技术综述[J]. 盐城工学院学报(社会科学版), 2000, 0(3) |
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| 作者姓名： | 杨晓红 杨圣 |
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| 作者单位： | 盐城工学院机械工程系!江苏盐城224003(杨晓红)，南京航空航天大学506教研室!江苏南京210016(杨圣) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目!(5 9875 0 38) |
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| 摘 要： | 综述了当今国内外纳米级位移测量技术的研究状况和最新成果 ,重点介绍其工作原理和性能。探讨了纳米级位移测量的关键技术 ,并展望纳米级位移测量技术的发展方向及在超精、微细加工领域的应用前景
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| 关 键 词： | 精密测量 超精密测量 纳米级测量 位移测量 |
A Survey of Nanometer Displacement measuring Technolgy |
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| YANG Xiao hong ,YANG Sheng. A Survey of Nanometer Displacement measuring Technolgy[J]. Journal of Yancheng Institute of Technology, 2000, 0(3) |
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| Authors: | YANG Xiao hong YANG Sheng |
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| Affiliation: | YANG Xiao hong 1,YANG Sheng 2 |
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| Abstract: | This paper makes a survey of the current research situation and the recent achievements of nanometer displacement measuring technology domestically and abroad, focuses on the introduction of operational principles and properties. The authors also discuss the key technology, forecast its edvelopment tendency and the future application in ultra precision and micro manufacturing fields. |
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| Keywords: | precision measurement ?ultra-precision measurement ?nanometer measurement ?displacement measurement |
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