安装误差对于电场式圆时栅传感器测量精度的影响规律及抑制方法

在纳米时栅传感器安装过程中，转子相对于定子的偏心或偏摆，是角位移传感器整周测量误差的主要来源。运用面积积分法进行数学建模，分析在安装不满足正对平行条件时的整周误差及其谐波频次，揭示采用多个电极进行信号拾取会具有一种匀化效应，能够减小由安装带来的谐波误差。采用印制电路板(PCB)工艺制造直径为305 mm的传感器样机，在不同测头数量的条件下进行精度对比实验。实验结果表明：多测头结构能够对整周误差产生抑制与匀化作用，使传感器整周测量精度达到1.5″,接近平行正对安装时的测量精度，验证了多测头结构对安装误差的抑制作用。