| 注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究 |
| |
| 引用本文： | 薛书文,梅芳,肖世发,莫东,黄子康. 注氮ZnO:Mg薄膜的热稳定性研究[J]. 湛江师范学院学报, 2008, 29(6): 24-28 |
| |
| 作者姓名： | 薛书文 梅芳 肖世发 莫东 黄子康 |
| |
| 作者单位： | 湛江师范学院,物理科学与技术学院,广东,湛江,524048 |
| |
| 基金项目： | 湛江师范学院科研项目 |
| |
| 摘 要： | 利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO:Mg薄膜,将能量56 keV、剂量1×1017ions/cm2的N离子注入到薄膜中.离子注入后,将样品在500-900℃的氮气中退火,利用X射线衍射(XRD)和光吸收研究了薄膜中缺陷的恢复过程.结果显示,离子注入层在600-900℃的退火过程中分解和蒸发现象明显,这个结果对利用离子注入技术制备p型ZnO有很重要的意义.
|
| 关 键 词： | ZnO薄膜 离子注入 XRD 吸收 |
A Study on the Thermal Stability of N implanted ZnO:Mg films |
| |
| XUE Shu-wen,MEI Fang,XIAO Shi-fa,MO Dong,HUANG Zi-kang. A Study on the Thermal Stability of N implanted ZnO:Mg films[J]. Journal of Zhanjiang Normal College, 2008, 29(6): 24-28 |
| |
| Authors: | XUE Shu-wen MEI Fang XIAO Shi-fa MO Dong HUANG Zi-kang |
| |
| Affiliation: | (School of Physical Science and Technology,Zhanjiang Normal College,Zhanjiang,Guangdong 524048,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | XRD |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
