| 快速循环热处理对(Co_(0.35)Fe_(0.65))_(99)O_1薄膜磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 荆玉兰,张怀武,蒋向东. 快速循环热处理对(Co_(0.35)Fe_(0.65))_(99)O_1薄膜磁性能的影响[J]. 电子科技大学学报(社会科学版), 2006, 0(2) |
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| 作者姓名： | 荆玉兰 张怀武 蒋向东 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都610054 |
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| 基金项目： | 国防科研基金资助项目，四川省基础研究项目资助项目(05JY029-069-1) |
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| 摘 要： | 针对(Co0.35Fe0.65)99O1薄膜,研究了两种不同热处理工艺对其磁性能的影响。结果表明:快速循环热处理可以改善高磁矩(Co0.35Fe0.65)99O1薄膜磁性能,在450°C几个快速循环热处理后,沉积薄膜的矫顽力从105下降到3Oe,电阻率下降到70%,a-Fe(Co)相晶粒尺寸可以减小到15～35nm,该处理方法较以往的热处理更能改善软磁薄膜的性能。
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| 关 键 词： | 软磁薄膜 高频 记录磁头 热处理 |
Influence of Rapid Recurrent Thermal Annealing on Magnetic Properties of CoFe-O Thin Film |
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| JING Yu-lan,ZHANG Huai-wu,JIANG Xiang-dong. Influence of Rapid Recurrent Thermal Annealing on Magnetic Properties of CoFe-O Thin Film[J]. Journal of University of Electronic Science and Technology of China(Social Sciences Edition), 2006, 0(2) |
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| Authors: | JING Yu-lan ZHANG Huai-wu JIANG Xiang-dong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | soft magnetic thin film high frequency recording head thermal annealing |
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