| 室温沉积Cu夹层ZnO薄膜的光电性能 |
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| 引用本文： | 张易军,闫金良.室温沉积Cu夹层ZnO薄膜的光电性能[J].鲁东大学学报,2010,26(4). |
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| 作者姓名： | 张易军 闫金良 |
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| 作者单位： | 鲁东大学,物理学院,山东,烟台,264025 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，山东省自然科学基金资助项目，山东省高等学校科技计划项目 |
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| 摘 要： | 用磁控溅射技术在室温下制备了纳米Cu夹层ZnO薄膜,经X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜的结构、光学性质和电学性质进行了测试.发现该薄膜随着Cu层厚度增加,ZnO层结晶性变差,可见光区域光学透光率减小,透射曲线蓝移,面电阻先迅速下降后缓慢下降.随着ZnO层厚度增加,薄膜c轴择优取向明显,压应力逐渐减小,光学透光率先增大后减小,面电阻随ZnO层厚度增加略有变化.
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| 关 键 词： | 纳米Cu夹层 ZnO薄膜 光学性能 电学性能 |
Optical and Electrical Properties of ZnO Films with Cu Interlayer Deposited at Room Temperature |
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