TiO_2-V_2O_5陶瓷湿度传感器及湿度测试仪的研究 |
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引用本文: | 完利祥.TiO_2-V_2O_5陶瓷湿度传感器及湿度测试仪的研究[J].电子科技大学学报(社会科学版),1988(Z2). |
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作者姓名: | 完利祥 |
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作者单位: | 成都电讯工程学院微电子技术与电子材料系 |
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摘 要: | 随着现代科学技术的发展,迫切需要对湿度这一物理量进行自动检测和控制.这就要求研制出将空气中的湿度变化直接转换成电信号的湿度敏感元件,即湿度传感器.将湿度传感器与计算机配合就能组成湿度自动检测及控制系统.表面为多孔结构的半导体陶瓷吸附水分子后,其电导率将增加,根据这一原理可以制成湿度敏感元件.
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