| DMD系统的环形光栅的设计和制作 |
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| 引用本文： | 孙智华,洪月辉,吴华明.DMD系统的环形光栅的设计和制作[J].九江学院学报,2007,26(3):16-17. |
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| 作者姓名： | 孙智华 洪月辉 吴华明 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学信息工程学院,浙江杭州,310000;华中科技大学光电国家实验室,湖北武汉,430000 |
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| 摘 要： | 本文讨论了基于数字微镜系统(DMD)的环形光栅的设计和制作方法。利用DMD系统,我们可以制作出低成本、半径可调的环形光栅,为使其集成到微光机电系统提供了一种可能。通过实验,我们获得了最大外半径为42.7μm的环形光栅。
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| 关 键 词： | 数字微镜系统(DMD) 环形光栅 二元光学 |
| 文章编号： | 1673-4580(2007)03-0016-(02) |
| 修稿时间： | 2007年1月28日 |
BESIGN AND FABRICATION OF CIRCULAR GRATING BASED ON DIGITAL MICRO-MIRROR DEVICE |
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| SUN Zhi-hua,HONG Yue-hui,WU Hua-ming.BESIGN AND FABRICATION OF CIRCULAR GRATING BASED ON DIGITAL MICRO-MIRROR DEVICE[J].JOurnal of Jiujiang University :Social Science Edition,2007,26(3):16-17. |
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| Authors: | SUN Zhi-hua HONG Yue-hui WU Hua-ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DMD system Circular gratings binary optics |
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