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超声马达步进特性和定位控制技术研究与应用

作者姓名：	张文超

作者单位：	辽宁石油化工大学信息工程学院辽宁抚顺113001

摘要：	论述了超声马达工作原理,研究了超声马达“步进”精密定位技术及其在生命科学仪器中的应用。
关键词：	精密定位技术超声马达步进控制
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