声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析

电子探针显微分析法（ＥＰＭＡ）能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点，文中对Ａｕ／Ｃｒ／Ｂｉ１２ＧｅＯ２０声表面波器件作了显微分析研究，探明了薄膜电极脱落发生在Ｃｒ膜与Ｂｉ１２ＧｅＯ２０基片的界面上。由于Ｃｒ膜与基片间是弱的简单附着机制，并且Ｃｒ膜承受着强烈的内应力，最终导致薄膜电极脱落。