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研究了GaN晶片的化学机械抛光(CMP)工艺,分析了在CMP加工工艺过程中对GaN晶片表面质量所产生的影响。实验采用质量分数30%的H2O2溶液与铁经过Fenton化学反应20 min后作为抛光液,并分别利用2种不同磨粒粒度W5和W0.5对晶片表面抛光,对不同工艺参数加工后的晶片表面进行测试分析,并推测加工过程中晶片表面可能发生的化学反应。 相似文献
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目前,用于医疗上的超声雾化器,是临床不可缺少的常规医疗器械,是呼吸道给药的很好方式。由于临床使用频繁,故障率也较高,下面就一些注意事项、故障现象及检修方法做以下讨论。 相似文献
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谢少伟 《绍兴文理学院学报》2015,(1):85-87
台湾地区晶片系统商管学程以培养具有晶片系统专业知识的商管类复合型人才为目标.学程的架构在课程设置和内容选择上均突出了"跨领域有机整合"与"服务于科技产业"的特色,可为高科技产业复合型紧缺人才的培养提供参考. 相似文献
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基于具有场板结构GaN HEMT器件物理和基本器件方程,导出了器件加场板前后表面电场分布和峰值电场解析模型。当场板长度LFP与绝缘层厚度tox最优时,GaN HEMT栅极边缘电场峰值可降低至未加场板时的22%;若保持峰值电场恒定,则其漏端电压可由没有场板时的50V提高到加场板后的225V,增幅高出4倍。该解析模型所导出的电场分布与国外新近发表的源于器件方程和经验公式的模拟和实验结果基本吻合,为GaN HEMT器件场板设计提供了理论依据。 相似文献
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