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利用低压化学气相沉积方法在N型Si衬底上异质外延生长3C-SiC薄膜,研究和分析了不同碳化工艺和生长工艺对3C-SiC外延层的影响;探讨了Si衬底3C-SiC异质外延应力的消除机理。通过台阶仪和XRD对不同工艺条件下的外延层质量进行分析,得到最佳工艺条件的碳化温度为1 000℃,碳化时间为5 min,生长温度为1 200℃,生长速度为4μm/h。对最佳工艺条件下得到的外延层的台阶仪分析表明外延层弯曲度仅为5μm/45 mm;而外延层的XRD和AFM分析表明,3μm厚度外延层SiC(111)半高宽为0.15°,表面粗糙度为15.4nm,表明外延层结晶质量良好。 相似文献
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利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析;研究了敏感元绝热层的厚度与热导率以及基底的厚度及材料对热分析结果的影响;提出了优化方案,并给出优化前后仿真的对比结果。分析结果表明,探测器的热响应随绝热层的厚度增加而增加,随绝热层的热导率降低而增加。在硅、镍、蓝宝石三种基底材料中,使用蓝宝石的探测器的热响应效果最佳。在绝热层厚度为2μm的情况下,基底的厚度对探测器响应的影响可以忽略。实验测试结果证实了优化模型的有效性。 相似文献
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本文提出一种用曲线代替增大分度齿形角渐开线作端面齿形的新型插齿刀。该插齿刀的铲形齿形是渐开线,理论上无齿形误差,可加大前后角来改善插齿刀的切削性能,而不会对齿形精度产生影响。 相似文献
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阐述了悬置微带多路宽带新型功分器的设计理论与关键技术的具体方法,实际了该类功分器的计算机辅助设计。实际制作出三路等功率悬置微带宽带功分器在3~18GHz的频带内,输入驻波小于1.3,插损小于0.6dB,隔离大于15dB。 相似文献
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在复合曲梁弯曲正应力研究的基础上,本文进一步给出其剪应力和径向应力的计算公式,从而使复合曲梁的应力问题全部得到解决.作为特例,也可以从本文所述公式得到单层匀质曲梁的相应公式.最后给出了计算实例. 相似文献
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高俊 《华南农业大学学报(社会科学版)》2015,33(6)
为了分析半导体制冷器工艺设计方法与制冷效率的关系,探讨其工作寿命的影响因素,文章通过改进半导体制
冷器基板材料,采用新型胶黏剂,并通过实验来对比分析半导体电偶间不同的铜片排布方式对制冷器制冷性能、寿命的
影响。实验结果表明,连接铜片排布回路形式对制冷性能影响不大,但对产品的使用寿命有一定的影响。铜线排列走向
简单,电阻变化率低,使用寿命相对较长。 相似文献
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计算并分析了高马赫数情况下,直叶片及正弯20°叶片在攻角分别为0°、±10°、±20°及±30°的情况下的流场结构. 采用的数值方法为具有TVD性质的三阶精度GODUNOV格式,湍流模型为B-L代数模型. 计算结果表明,在较大的攻角范围内,正弯叶片可以减小叶栅流道内通道涡的强度,并且由于两端壁的附面层被吸入主流,使得正弯叶片中的能量损失减小. 攻角越大,正弯叶片的作用越明显. 相似文献
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通过比较标准粉和两种无磷洗衣粉对人工皮脂污布和标准污布的去污力。讨论了污垢组成,基质和洗涤条件对去污力的影响。尔后,又将此种去污力与实际污布在洗衣机中的去污力进行比较。结果表明,人工皮脂污布在QW-Ⅱ去污机中的洗涤结果接近实际污布在洗衣机中的洗涤结果。 相似文献